Титанијумски делови за полупроводнике

1. Ултра-контрола испуштања нечистоћа са ултра-

Ми усвајамо шему обраде керамичких алата + алата без гвожђа-у току процеса производње. Сви помоћни материјали који су у контакту са радним предметом пролазе кроз три круга пречишћавања киселином, стриктно контролишући да укупан садржај гвожђа, хрома итд. буде унутар 0,02%. Ово у потпуности избегава уобичајени проблем контаминације металним јонима у полупроводничким процесима и спречава стварање прекомерних остатака метала на површини плочице. Смањује ризик од кратког споја са стране материјала.

 

2. Дугорочна-отпорност на корозију

Након што је део формиран, биће подвргнут двема различитим концентрацијама урањања слабог оксидационог раствора ради пасивизације. На површини ће се створити униформан заштитни филм од титанијум диоксида дебљине 8-10 нм. Чак и када су у процесу чишћења полупроводника изложени разблаженим растворима флуороводоничне киселине и азотне киселине у континуитету током 2000 сати, неће доћи до одвајања удубљења и остатака који би огребали површину плочице.

 

3. Висока{1}}прецизна димензиона стабилност

Током обраде, цео процес користи спреј течног азота за константну контролу температуре, контролишући деформацију која настаје током обраде унутар 0,003 мм. Пре напуштања фабрике, готови производи се подвргавају 24-часовном циклусу на високим и ниским температурама. Чак и када се ради у полупроводничком процесном окружењу на 180 степени дуго времена, неће доћи до ометања деформације и лепљења деформације. Нема потребе да често растављате и подешавате тачност поравнања.

 

4. Ниска брзина издувних гасова погодна за вакуумско окружење

Сви делови се прво подвргавају печењу у вакууму на 120 степени током 48 сати ради третмана дегасирања. Водена пара и ситне честице адсорбоване на површини се потпуно уклањају. Након уградње у полупроводничку вакуумску комору, може помоћи опреми да достигне циљни степен вакуума 25% брже од коришћења обичних делова од нерђајућег челика, смањујући губитак времена чекања на вакуумско пумпање.

1. Посуда за плочице за ПВД машину за таложење паром

Користи се за подупирање силиконске плочице која се облаже. У окружењу високе-температуре распршивања циљног материјала, титанијумски део неће реаговати са гасом за распршивање и неће отпуштати вишак нечистоћа у комору, што може побољшати уједначеност слоја металног филма нанесеног на површину плочице за 5%, избегавајући проблем цурења струготине изазваног недовољном дебљином металног слоја. Погодан је за захтеве производње премаза од 28 нм и нижих процеса.

 

2. Сталак за држач вафла за машину за мокро чишћење

У стандардном процесу чишћења РЦА, сталак је потпуно уроњен у растворе за чишћење јаких киселина и јаких алкалија. Титанијумски материјал неће бити кородиран и стварати остатке, и неће се лепити за површину плочице да изазове контаминацију честицама. Може смањити стопу дефекта честица код чишћења једне серије плочица за 12%. Истовремено, лагана карактеристика сталка такође може смањити оптерећење преноса машине за чишћење и смањити потрошњу енергије опреме.

 

3. Седиште за фиксирање електроде за машину за јонску имплантацију

Користи се за фиксирање-електрода високог напона у машини. Немагнетно својство титанијума неће ометати путању јонског снопа, омогућавајући контролу дубине одступања имплантације јона у веома малом опсегу, избегавајући проблем неуједначене дозе убризгавања у локалној области плочице. То значајно побољшава конзистентност електричних перформанси чипа.

 

4. Прирубница конектора за полупроводнички вакуумски цевовод

Повезивање различитих делова вакуумског цевовода машине. Ниска издувна брзина титанијума може да одржава високо-окружење чистог вакуума унутар цевовода и неће изазвати флуктуације у степену вакуума услед ослобађања гаса из обичних прирубница од нерђајућег челика након-дуготрајне употребе. Смањује број аларма за искључење машине изазваних абнормалностима вакуума и повећава време непрекидног рада производне линије за 30%.

1. Прилагођавање не-нестандардних димензија

Ослањајући се на наш сопствени 5-осни обрадни центар, дужина, ширина и висина делова могу се подесити према инсталационом простору постојеће полупроводничке опреме купца. Нема потребе да купац мења интерфејс опреме, а први узорак може бити испоручен у року од 7 дана.

 

2. Прилагођавање стања површине

По жељи се могу изабрати две методе површинске обраде: полирање огледала и мат пескарење. Погодни су за различите захтеве за чистоћом производног процеса и могу избећи адхезију честица која утиче на окружење производње полупроводника.

 

3. Прилагођавање специјалних интерфејса

Специјалне структуре као што су посебни утори за картице и рупе за позиционирање могу се прилагодити тако да у потпуности одговарају захтевима за монтажу опреме коју је сам-развио купац. Нису потребне додатне компоненте адаптера.

Ставка	Спецификација
Назив производа	Титанијумски делови за полупроводнике
Материјал	Чисти титанијум (разред 2), легура титанијума (класа 5 Ти-6Ал-4В)
Процес производње	ЦНЦ обрада, стругање, глодање, брушење, заваривање
Доступни облици	Плоча, прстен, цев, шипка, блок, прилагођени делови
Димензије	Прилагођено према цртежима или узорцима
Толеранција	До ±0,01 мм
Завршна обрада	Полирано, пескарено, кисело, анодизирано, прецизно обрађено
храпавост површине	Ра 0,2–1,6 μм (доступно по мери)
Чистоћа	До 99,6% (Титанијум 2. разреда)
Радна температура	До 400 степени
Густина	4,51 г/цм³
Тврдоћа	2. разред: ХБ 145–200; Оцена 5: ХРЦ 30–36
Отпорност на корозију	Одлична отпорност на киселине, алкалије и процесне хемикалије
Хемијска компатибилност	Погодно за полупроводничке хемикалије и окружења ултра{0}}високе чистоће
Инспекција	Инспекција димензија, Цертификација материјала, Површинска инспекција

 

 

 

Popularne oznake: титанијумски делови за полупроводнике, Кина титанијумски делови за произвођаче полупроводника, добављачи, фабрика